擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的真空泵之一。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、最大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?br />
1.極限真空
如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。
2.最大反壓強(qiáng)
最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率
擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)推算出來(lái)。
4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?br />
由于擴(kuò)散泵噴嘴噴出來(lái)的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會(huì)返回被抽空間，這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢澹@樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來(lái)，截止了油蒸氣的返流。
影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。
1、油擴(kuò)散泵的返流。
2、氣體分子的反擴(kuò)散。
3、擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對(duì)其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)（室溫下0.00000001Pa左右），受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點(diǎn)的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。
4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。
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